产品展示

飞托克专注仪表管阀件行业超过25年,拥有卓越的研发能力和可靠的质量产品!
高纯及超高纯管阀件:接口尺寸范围为1/8"至1",工作压力从真空至6,000psig,温度范围为-73℃至538℃, 主体材料可选316、316L、316L VAR、316L VIM/VAR不锈钢及合金等
序号 名称 产品描述 参考图片
21 超高纯压力表 GP 系列压力表广泛用于半导体、电子、医疗等行业的超高纯度气体分布系统,适用于气体、液体和有腐蚀性的介质、以及有腐蚀性的环境、高纯净场合。表盘尺寸为 50 mm (2 in.)、63 mm (2 1/2 in.),高达 6000 psi 的测量范围
22 源瓶组件 CSR 系列 在原子层沉积 (ALD) 工艺中,选择合适的前驱体对工艺控制、薄膜性能等方面至关重要;同时根据前驱体特性,如挥发性、反应性等,配以合适的源瓶对工艺会有协同效应。CSR 系列源瓶组件通过对选材到成型工艺的高品质把控,因此能适应绝大部分前驱体封装存储,为整段沉积工艺提供绝佳的安全性和洁净度保障。
23 气体控制组件 AGH 系列高纯气体控制组件,适用于半导体等行业高纯气体流体系统。该系列高纯气体控制组件主要由隔膜阀、减压阀和压力表等配件组成,通过将这些组件进行一体化集成,减少现场连接。飞托克从材料、焊接和清洁等方面严格要求工艺规范,确保产品满足半导体制造行业对管阀件高洁净度、高性能的要求。
24 模块化气体系统 FITOK模块化气体系统 (Integrated Gas System) 是一种半导体行业用于气体控制的设备。随着半导体制程工艺越来越先进,对气体控制设备的要求也越来越高。模块化气体系统采用符合SEMI标准的表面安装元件,进行模块化设计,在缩小设备体积的同时,安装和维护反而变得更简单。
25 模块化气体系统基块 ISC 和 ISW 系列 材料符合 SEMI F20 标准,多种流道形式适用于各种模块化系统搭建需求,在 ISO 4 级洁净室完成最终组装和包装