O 形圈密封保证了从真空到高压的完美密封,完全实现了最大效率,易于安装和维护,尺寸范围:1/8" 至 1"
7
隔膜阀
涵盖多个系列,如ALD、DQ、DP、DH、DM、DS、DR、DV、DL、DF、DE 和 DK 系列
8
高温隔膜阀 DK 系列
高温浸没设计,可用于 250 °C (482 °F) 高温环境,金属阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能力,钴合金隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长
9
经济型隔膜阀 DE 系列
DE 系列经济型隔膜阀,是适用于超高纯气体流体系统的标准产品。在与飞托克其他系列隔膜阀使用同样的材料、清洁和包装工艺,保持基本性能相同的基础上,通过减少零部件数量,优化加工方法以及大规模批量生产,来实现可靠性和经济性。飞托克先进的制造工艺和严格的质量控制,确保产品能满足半导体行业高纯度气体流体系统的应用需求。
10
原子层沉积隔膜阀 ALD 系列
高速执行下超高循环寿命,响应速度快,可在低于 5 ms 内完成阀门开启和关闭,耐热型延长热应用场合的执行器寿命,合金隔膜提高强度和耐腐蚀,使用寿命长,高纯级 PFA 阀座,广泛的化学兼容性,阀与阀流量一致性:±3%,全封闭阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能力,极少产生颗粒和死区,易吹扫,适用于超高纯应用