| 6 |
ФОрядОКольцевое торцевое уплотнительное соединение |
Уплотнительное кольцо обеспечивает идеальную герметизацию от вакуума до высокого давления, полностью обеспечивая максимальную эффективность, простоту установки и обслуживания, диапазон размеров: от 1/8 дюйма до 1 дюйма. |
|
| 7 |
Мембранный клапан |
Охватывает несколько серий, таких как серии ALD, DQ, DP, DH, DM, DS, DR, DV, DL, DF, DE и DK. |
|
| 8 |
Высокотемпературный мембранный клапан серии DK |
Высокотемпературная погружная конструкция, может использоваться в условиях высоких температур до 250 °C (482 °F).Металлическая конструкция седла клапана обладает превосходными свойствами защиты от расширения и загрязнения.Мембрана из кобальтового сплава обладает высокой прочностью, коррозионной стойкостью и длительным сроком службы. . |
|
| 9 |
Экономичный мембранный клапан серии DE |
Экономичные мембранные клапаны серии DE являются стандартными изделиями, подходящими для газожидкостных систем сверхвысокой чистоты. Благодаря использованию тех же материалов, процессов очистки и упаковки, что и у других мембранных клапанов серии Fetok, а также сохранению тех же основных характеристик, надежности и экономичности, достигается за счет уменьшения количества деталей, оптимизации методов обработки и крупномасштабного массового производства. Передовые технологии производства Feitok и строгий контроль качества гарантируют, что продукция соответствует требованиям применения газожидкостных систем высокой чистоты в полупроводниковой промышленности. |
|
| 10 |
Мембранный клапан для осаждения атомного слоя серии ALD |
Сверхвысокий срок службы при высокоскоростном исполнении, быстрая скорость срабатывания, открытие и закрытие клапана может быть завершено менее чем за 5 мс, термостойкий тип продлевает срок службы привода в горячих условиях, диафрагма из сплава повышает прочность и устойчивость к коррозии, длительный срок службы , седло клапана из высокочистого PFA, широкая химическая совместимость, постоянство потока между клапанами: ±3%, полностью закрытая конструкция седла клапана, с превосходными возможностями защиты от расширения и загрязнения, редко образует частицы и мертвые зоны, и легко очищается, подходит для применений сверхвысокой чистоты |
|